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详细信息
一、KW-4T小巧型匀胶机产品特征:
(1)广泛应用于半导体,集成电路,材料,微光学,生命科学,凝聚态物理,化学等科学研究与生产;
(2)可用于硅片/载玻片/化合物镜片/ITO/导电玻璃等各种基底材料的表面处理和涂覆;
(3)20年精心打造核心技术,KW-4T全触摸屏高性能匀胶机全新上市!性能全面提升,全新外观;
(4)转速在任意阶段之间均可任意升降调节 ;
(5)5.6英寸全彩触摸屏控制,使用操作简单直观;
二、KW-4T小巧型匀胶机规格参数:
(1)型号: KW - 4T
(2)转速:250-9000 RPM
(3)转速稳定性: 1RPM
(4)旋涂均匀性:<1%;
(5)基片尺寸: Φ5-Φ100mm圆片,*大100mm×100mm方片
(6)显示/程序控制:全触摸屏操作,快速启动,人性化界面 6 步工艺调速设计,0-1800s时间可调;
(7)整机尺寸(长宽高):210mm×280mm×248mm(包括接胶盘)
(8)适用基片材料:适合硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等各种材料;
(9)特殊夹具定制:20年特殊夹具设计经验,匹配超薄、异形、脆性易碎样品;
(10)电机功率:40W
(11)真空泵抽气速率:>60L/min