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详细信息
一、Tergeo等离子清洗机-主要配置:
产品型号: Tergeo Tergeo Plus 腔室大小: 内径φ110mm,深度280mm 内径φ160mm,深度280mm 腔室材质: 高纯度石英玻璃,相对于派瑞克斯(Pyrex)玻璃有着更强地耐腐蚀性和更少地碱杂质; 常用气体: 空气,氧气,氢气,氩气,氮气和其他混合气体; 气路控制: 标配两路MFC,可选配三路MFC; 射频频率: 13.56 MHz,远高于同条件下KHz频率所产生的等离子密度; 射频功率: Tergeo 0~75W连续可调,可选配到150W;
Tergeo Plus标配150W,可选配到300W和500W;
射频功率可以以 1 瓦的间隔进行调整;
程序设置: 共有20个可设置的程序配方,工作顺序中*多有三个清洁步骤。 用户界面: 7英寸电阻触摸屏,可用手指触摸,无需手写笔。 操作方法: 自动配方执行:自动工作序列执行;手动操作。 【1】清洗纳米级样品;
【2】蚀刻光刻胶,除渣、硅片清洗;
【3】引线键合倒装芯片底部填充,器件的封装和解封;
【4】PDMS/微流控/载玻片/芯片实验;
【5】改善金属与金属或复合材料的结合;
【6】激活聚合物上的官能团,实现亲水或疏水润湿性,提高粘合强度和可印刷性,促进医疗设备的生物相容性。
三、Tergeo系列等离子清洗机-产品优势:
【1】外部电极的设计提高等离子体的均匀性;
【2】*的等离子体传感器技术,用于定量的等离子体强度测量;
【3】直接/浸入模式和远程/下游等离子体处理模式在一个系统中的应用;
【4】连续和脉冲等离子体可以改变3-4个数量级的清洗速度;
【5】高频13.56MHz rf电源,具有自动阻抗匹配功能。在相同的额定射频功率下,MHz等离子体系统的效率比KHz等离子体系统高很多倍;
【6】先进的过程控制技术;
【7】质量流量控制器(MFC)调节气体输入,而不是手动转子流量计或粗针阀;
【8】先进的数字压力传感器用于精确的压力监测;
【9】全自动化操作,支持20种程序配方;
【10】直观的电阻式触摸屏用户界面;